在半导体干法蚀刻、微纳结构加工、MEMS器件制造、高精度光刻配套等高端半导体场景中，脉冲电源的脉宽控制精度、高频输出稳定性、能量投递均匀性直接决定蚀刻精度、微纳结构完整性及器件最终性能。传统单极性脉冲电源普遍存在高频窄脉宽输出畸变、能量波动大、抗干扰能力弱等问题，常导致蚀刻线条边缘粗糙、微纳结构尺寸偏差、器件良率偏低等痛点。而具备“高精度窄脉宽控制”“高频稳定输出”特性的单极性脉冲电源，已成为破解半导体高端加工工艺难题的核心装备，契合半导体产业向微纳级精度升级的发展需求。

苏州渊禄智能科技有限公司聚焦半导体高端加工领域的严苛供电需求，推出新一代高精度窄脉宽单极性脉冲电源，凭借核心技术突破助力半导体蚀刻与微纳加工工艺升级。该产品实现三大核心技术升级：一是高频窄脉宽精准调控，支持脉冲频率1MHz-50MHz宽域可调，脉冲宽度窄至0.01μs-10μs连续设定，频率稳定性≤±0.03%，波形畸变率＜0.8%，可精准匹配不同半导体材料（硅、氮化镓、碳化硅）的蚀刻需求，保障蚀刻线条均匀光滑；二是高精度能量投递，采用数字化多闭环反馈控制算法，峰值电流0-150A精准可控，电流精度≤±0.1%，输出纹波系数≤0.05%，有效避免能量波动导致的加工缺陷，提升微纳结构尺寸精度；三是强抗干扰与洁净适配，集成EMC四级滤波模块，可抵御半导体车间复杂电磁环境干扰，采用无粉尘泄漏的密封式设计，适配百级洁净车间要求，设备防护等级达IP66，杜绝粉尘污染加工环境。